| 產品型號： |
EX-3000 |
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品牌：日本電測 |
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| 產品簡介： |
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| 本機能精確測量極細小物件鍍膜厚度，可進行單層及多層膜厚測定、合金膜厚成份比同時測定及無素的光譜峰值測定分析。 |
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| 主要技術參數： |
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儀器特點： |
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搭載MS-WINDOWS系統（優越的操作性與高精度測定） |
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使用與IBM PC兼容個人電腦，采用MS-WINDOWS軟體，使用時多彩多姿。 |
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采用二種濾波器 |
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用用數位式濾波器外另有機械式濾波器（兩種濾波器），在測定時，若是*適當的條件下， |
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經常可得到*高的精度。 |
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準值儀5種孔徑內藏式 |
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*小的準值儀孔徑僅0.1 mm，可測定極微小的部品。 |
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標準：0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另備有2種特別規格可供選購。 |
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0.05,0.1,0.2,0.3,0.5 |
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0.05*0.5,0.1,0.2,0.3,0.5 |
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自動測定測量臺 |
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利用鼠標來調整測量位置，非常敏捷快速。或是測量位置已完成登陸時，可連續自動測定， |
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利用座標補正、連結頻道，來應付各種測量軌跡。亦可用自動測定來作標準片校正。 |
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優越的顯示機能 |
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測定部顯示盡像的表示 |
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X線照射部可由WINDOWS畫面上取得照射部的表示。從準儀照射測定物的位置，可由倍率 |
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率更機能來實現盡面上測出物放大。 |
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在膜厚測定中的能譜表示 |
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由多頻分析器可快速處理能譜分析。可執行測定物的能譜分析表示，操作簡單。 |
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提長資料處理的速度 |
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充實測量報告的作成機能 |
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采用MS-WINDOW軟件，測定畫的擷取，非常簡便，可充襯測量報告的制作機能。可同時間 |
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隔處理多項工作，機器在測量中亦可處理其它工作：包括如測量報告的制作。 |
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測定物膜厚附著分布表示 |
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以三次元圖案來表示測定物膜厚附著狀態的分布，作判定時一目了然。 獲得安心的*保*性。 |
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自己診斷機能及X線管保食機能 |
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自己診斷機能，迅速的對策來排除機器的因擾。附有X線管的使用時間及耐久時間表示機能， |
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可加強保養的安全性。 |
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儀器詳細介紹： |
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1. X線源:油浸式1.2mA小型微小焦點X線管. 50kV管電壓，可變管電壓。 |
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2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。 |
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3. 檢出器：比例計數管。 |
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4. 濾波器：采用 Co 和 Ni 雙濾波器及數字式濾波器，可單一或同時使用。 |
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5. 準直儀：Collimator 采用五種孔徑一體成型式，可自動切換使用。 |
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0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φL. |
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(選購) 0.05×0.5,0.05,0.1,0.2,0.5φL. |
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(選購) 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5φL. |
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6. 樣品觀測系統：彩色CCD及高畫質顯示屏。 |
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7. 多能譜分析器：使用256高頻分析器，光譜自動分析，在執行測量及運算時，非常快速。 |
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貳. 計算機操作部: |
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8. 計算機系統：(※僅供參考) |
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IBM 兼容中文個人計算機. |
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CPU：Intel Celeron 1GHz. |
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RAM：128 MB. |
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Floppy Disk：3.5 ×1， 40倍速 CD-ROM ×1. |
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Hard Disk：40 GB. |
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17" 高畫質顯示屏. |
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EPSON彩色噴墨式打印機。 |
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9. 本機型(CO**OS-1X系列)之操作系統采中文窗口(Windows98)對話式操作，非常簡便。 |
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參. 特性說明: |
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10. 測量項目： |
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單層膜厚測定. |
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2層膜厚測定. |
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3層膜厚測定. |
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無電解鎳膜厚測定. |
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合金膜厚成份比同時測定. |
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元素的光譜峰值測定分析. |
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11. 測量材質：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發法測量。 原子序22以下為吸收法測量。 |
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12. 測量范圍：原子序22 ~ 24 ， 約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 ， 約 0.1 ~ 30 um. 原子序 |
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41 ~ 51 ， 約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 ， 約 0.05~ 10 um. |
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13. 測量機能： |
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同一點重復測定機能 |
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輸出形式設定. |
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能譜測定. |
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14. 測量條件或膜厚規格可以保存. |
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當要測量相同的制品時，若測量條件已儲存，可以馬上進行測量。 |
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*大檢量線檔案數：可登錄儲存100組檔案。 |
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*大測量檔案數 ：可登錄儲存300組檔案。 |
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15. 檔案記錄： |
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每一個批號可儲存無限個測量數據.(因所使用的計算機之容量大小而定) |
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每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱. |
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每個批號可單獨執行統計處理. |
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每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線). |
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16. 數據處理： |
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統計值表示：平均值、標準偏差、*大值、*小值、上下限值范圍、Cp、Cpk。 |
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X-R 管制圖. |
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柱狀圖：有自動設定及自己任意設定二種方式。 |
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可彩色打印觀物顯示屏上所觀測之圖像。 |
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17. 底材補正：當樣品與標準片的底材不同時，可作底材補正。 |
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18. 觀物顯示屏：十字刻度線的高分辨率彩色觀物顯示屏。 |
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肆. 安全裝置. |
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19. 本機俱有自動安全斷電系統功能. |
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20. 由鎖匙開關來控制X 線輸出，以防止外人任意操作. |
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伍. 其它機能. |
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21. 密碼辨識功能 |
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22. 裝置維護調整. |
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23. 測量部主機： 尺寸：362(W) ×425(D) ×486(H) L. |
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重量：約 44.2 Kg. |
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24. 操作部：(※僅供參考) |
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計算機尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) L. |
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重量：約 8.8 Kg. |
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顯示屏尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) L. |
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重量：約16.5 Kg. |
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打印機尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) L. |
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重量：約 4.3 Kg. |
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柒. X-Y-Z軸可移動式測量臺. |
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25. 測量臺尺寸及移動量. |
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測量臺尺寸 170 (W) ×100 (D) L |
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移動量(X-Y-Z軸) 70 ×70 ×50 L. |
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26. 測量樣品限制. |
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樣品限制高度： 45L |
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樣品限制重量： 3 Kg. |
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捌. 使用電源. |
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27. 電壓: AC100V ±10V ； 50/60Hz |
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(選購) AC110V， AC220V. |
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28. 容量: 700V |
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